水平式化學鍍膜設備
    產品型號 : PV0616CBD
    產品描述

    專用於CIGS 薄膜太陽能電池化學緩衝層沉積工藝,適用大面積及多片式軟性基板的化學水浴鍍膜設

    備,也可應用於玻璃鍍膜,可達到均勻沉積50nm 厚度之緩衝層薄膜。

    1. 獨特的專利性技術:可夾持多片式軟性不銹鋼基板之特殊吸引機構,達到全自動化製程控制。
    2. 材料利用率高:採用直接加熱方式,只需要在基板表面覆蓋少許反應藥品(液高約2~5 mm)就能達到鍍膜需求,可有效的
    3. 提高材料使用率。
    4. 低廢液量:特殊結構設計可減少50%以上的製程溶液用量,大量減少量產設備藥品使用量,對環境衝擊低,減少廢
    5. 液處理成本。
    6. 量產能力最大化:採用均勻熱場設計,減少均質成核可能性,提高薄膜品質。
    7. 清洗、乾燥及廢液回收系統:設備配有快速清洗與連續式乾燥系統,待緩衝層鍍膜完成後,廢液自動進行回收處理。快速清潔水霧噴灑裝置,可清除樣品上的殘餘藥品,同時快速風刀乾燥系統可將鍍膜成品乾燥,達到緩衝層製程乾進乾出之目的。
    水平式化學鍍膜設備
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